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epitaktische Abscheidung

См. также в других словарях:

  • Flüssigphasenepitaxie — (englisch liquid phase epitaxy, LPE) ist ein chemisches Epitaxieverfahren, zur Herstellung von einkristallinen dünnen Schichten auf einem einkristallinen Substrat aus einer Lösung. Inhaltsverzeichnis 1 Funktionsweise 2 Vor und Nachteile …   Deutsch Wikipedia

  • Atomlagenabscheidung — Die Atomlagenabscheidung (englisch atomic layer deposition, ALD) ist ein stark verändertes CVD Verfahren zur Abscheidung von dünnen Schichten. Diese haben in der Regel eine polykristalline oder amorphe Struktur. Für einkristalline… …   Deutsch Wikipedia

  • Atomic Layer Deposition — Die Atomlagenabscheidung (engl. atomic layer deposition, ALD) ist ein stark verändertes CVD Verfahren zur Abscheidung von dünnen Schichten. Verschiedene Namen ein Prinzip, die Atomlagenabscheidung[1] Bezeichnung Abkürzung Atomic layer deposition… …   Deutsch Wikipedia

  • Epitaxie — Epi|ta|xie 〈f. 19〉 Bildung von Kristallen eines Stoffes auf einer kristallinen Unterlage des gleichen od. eines anderen Stoffes mit weitgehend ähnlichem Kristallgitter [<grch. epi „auf, darüber“ + Taxie] * * * E|pi|ta|xie [↑ epi (5) u. ↑… …   Universal-Lexikon

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